實(shí)驗(yàn)供氣系統(tǒng)使用安全注意事項(xiàng)

1.易1燃易1爆氣體：此類氣體只要形成了可燃?xì)怏w爆1炸混合氣和達(dá)到著火溫度。便會發(fā)生燃燒爆1炸事故因此在可燃?xì)怏w入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室

內(nèi)使用可燃?xì)怏w處、敷設(shè)可燃?xì)怏w的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃?xì)怏w的場所均應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w報(bào)警裝置。具體要求如下：

①可燃?xì)怏w比空氣輕者，報(bào)警裝置設(shè)置在所處場所的頂部。

②可燃?xì)怏w比空氣重者，報(bào)警裝置設(shè)置在所處場所的1低處。

③可燃?xì)怏w的報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置設(shè)電氣連鎖，當(dāng)空氣中的可燃?xì)怏w濃度達(dá)到規(guī)定值時(shí)，事故排風(fēng)裝置自動開啟，同時(shí)向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報(bào)警信號。

④為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時(shí)突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒爆1炸事故，必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。

⑤可燃?xì)怏w在適當(dāng)?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地，但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。

⑥各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮?dú)獾榷栊詺怏w的接口及相應(yīng)的檢測口，以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進(jìn)行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運(yùn)行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質(zhì)量。

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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹

大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括4、3、NF3）、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。使用者只需管理較少的氣瓶，支付較少的氣瓶租金，因?yàn)槭褂猛粴怏w的所有使用點(diǎn)來自于同一個(gè)氣源。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

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試驗(yàn)室供氣現(xiàn)狀

目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統(tǒng)完成上述工作。同時(shí)，當(dāng)?shù)叵酪?guī)范建議甚至要求將主要的氣體源如氣瓶、杜瓦瓶和液體儲槽放置在工作區(qū)外的指1定區(qū)域，然后將氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗(yàn)室內(nèi)。

但是考慮安全和效率因素，不考慮經(jīng)濟(jì)性因素，集中供氣系統(tǒng)是比較優(yōu)1秀的方式。并成為當(dāng)今試驗(yàn)室設(shè)備使用高純氣體的可靠連續(xù)的供應(yīng)源，氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗(yàn)室內(nèi)，并可通過安裝在工作臺上的使用點(diǎn)二級減壓器方便地調(diào)節(jié)壓力和流量。

國內(nèi)比較老的試驗(yàn)室在使用氣體的時(shí)候大多是將氣瓶放在用氣點(diǎn)的旁邊，然后在氣瓶出口處安裝一個(gè)減壓器，然后直接通過紫銅管或四氟軟管連接到儀器上，如果一個(gè)試驗(yàn)室里有多個(gè)使用設(shè)備時(shí)，就會有很多氣瓶，同時(shí)有很多雜亂的管路，同時(shí)這些氣體不乏有毒氣體、強(qiáng)腐蝕氣體，以及氣瓶出口高壓等因素，使得這種方式在現(xiàn)實(shí)使用過程中是充滿危險(xiǎn)性的。同時(shí)，當(dāng)?shù)叵酪?guī)范建議甚至要求將主要的氣體源如氣瓶、杜瓦瓶和液體儲槽放置在工作區(qū)外的指1定區(qū)域，然后將氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗(yàn)室內(nèi)。

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實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)要求

了解實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)的都知道：實(shí)驗(yàn)室的任何的設(shè)計(jì)都是有規(guī)格要求的，出了這個(gè)要求的范圍那么實(shí)驗(yàn)室的設(shè)計(jì)就有漏洞，就不合格，就容易發(fā)生事故。它分為調(diào)整零位用標(biāo)準(zhǔn)氣體(零位氣體)、監(jiān)測環(huán)境用標(biāo)準(zhǔn)氣、工業(yè)分析用標(biāo)準(zhǔn)氣體、醫(yī)1療儀器用標(biāo)準(zhǔn)氣體、可燃性氣體泄漏用標(biāo)準(zhǔn)氣體、燃燒器尾氣用標(biāo)準(zhǔn)氣體六大類。實(shí)驗(yàn)室的氣體的排放是非常重要的，如果說實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)不合理，工作人員就容易出事，甚至嚴(yán)重的就會有生命危險(xiǎn)。